日本pureron氣體過濾器用水套加熱器FBR系列
氣體過濾器烘烤用水套加熱器FBR系列是用200℃高溫烘烤過濾器的劃時代的全新烘烤加熱器。
如果過濾器內部的金屬表面或元件中一旦吸著了大氣中的水分，僅靠N2凈化幾乎無法將其*清除。 而且，氣體介質中如果存在H2O和O2，就會與室溫環境中的水分起反應，導致過濾器內以及過程室內 的反應生成物引起的污染和腐蝕。因此若要解吸水分及其他脫氣成分，最為有效的是200℃以上的烘烤。 PURERON JAPAN開發出了可對過濾器進行200℃高溫烘烤的劃時代的全新烘烤系統，從而實現了APIMS測量中1.2ppb的脫氣量(水分量)。
日本pureron氣體過濾器用水套加熱器FBR系列
規格
| 最高使用溫度 | 200℃ |
|---|---|
| 電源 | AC100V |
| 功率 | 60W～100W（0.6A～1A） |
| 加熱定時器 最大使用時間 | 100Hrs（數字式設定） |
| 溫度調節 | PID控制（數字式設定） |
| 系統構成 | 加熱單元和控制單元 |
| 附件 | 電源線、中繼線 |
| 選配件 | 多通道掃描式控制器、可對應其它選配件。 |
