日本芝浦機電shibaura活塞泵 PSL，PDL系列 清潔泵無 油，以免污染機油，并且使用特殊材料清潔泵。　 體積小，重量輕，噪音低 用途廣泛 ? PSL系列可與壓縮機和真空組合使用。 ? PDL系列兩級真空泵可獲得更高的真空度。

日本芝浦機電shibaura羅茨泵 TMB系列 由于使用電機直接連接型，因此幾乎不會產生灰塵。 減少振動和噪音 易于維護和檢查的結構 可通過變頻器控制（可選）從大氣壓中抽空

日本芝浦機電shibaura油擴散真空泵ESV系列 該系列使用內部加熱型護套加熱器，以從超高真空區域到高，中和真空區域獲得穩定的壓力，并防止由于油在超高真空下突然沸騰而引起的壓力波動。 ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運行時間短，排氣量大和臨界背壓高的特點。另外，可以減少液壓油的量。

日本芝浦機電shibaura小型擴散油真空泵 ESV系列 在該系列中，為了獲得從超高真空區域到高/中/真空區域的穩定壓力，在超高真空下將環形加熱器用于ESV-6及以下，將內部加熱型護套加熱器用于ESV-8及以上。它可以防止由于油的突然沸騰而引起的壓力波動。 ESV系列提高了加熱油的熱效率（與我們公司相比），因此具有運行時間短，排氣量大和臨界背壓高的特點。而且，液壓油的量很小。

日本芝浦機電shibaura金尼型油旋轉真空泵 KP系列 與DRP和RP系列相比，它還可用于工業粗糙應用。 由于除了排氣門外沒有使用其他彈簧，因此故障很少，并且結構耐腐蝕。 氣缸和轉子的磨損很小，因為微小的間隙被油密封了。 由于帶有氣鎮閥（蒸汽處理閥），因此對蒸汽和可凝性氣體的排出具有很強的抵抗力。